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用于净化 He Ne Ar Kr Xe 等惰性气体。使净化后的气体纯度可达到 7N（99.99999%）以上。净化后的杂质含量 H2O、H2、O2、N2、NO、NH3、CO、CO2 含量小于 0.01ppm（10ppb），同时又有去除CH4、CF4、CCl4 等杂质的能力。
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